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●接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。●化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。【用途】●濃縮機などの化学機器。●半導体製造装置。●製薬機械。●薬品処理後の乾燥。【仕様】●排気速度(L/min)50/60Hz:135/162●到達圧力(Pa):0.67●電源(V):単相100●寸法(mm):170.0×493×241.1●騒音値(dB):-●吸気口径:KF-25●サーマルプロテクタ付●ケミカルタイプ●異電圧対応可(お問い合せください)●真空ポンプ油は合成油(SO-M)をご使用ください。●特殊ガス、溶液などを吸引されるときは事前にご相談ください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。●腐食性ガスを吸引される場合のオプショナルパーツの選定は材質と耐食性をご確認ください。※商品仕様等のお問い合わせは、メーカー:アルバック機工(株)にお問い合わせ下さい。※画像は代表画像です。実物と異なる場合がありますので、メーカーHP等でご確認の上お買い求め下さい。※お取り寄せ商品のため、3週間~1ヶ月程度お時間をいただく場合がございます。予めご了承ください。

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